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西安奕斯伟请求用于外延成长设备的支撑结构相关专利可以提高外延晶圆的电阻率均一性
时间: 2024-12-08 07:41:56 | 作者: 输送机械
金融界 2024 年 11 月 9 日音讯，国家知识产权局信息数据显现，西安奕斯伟资料科技股份有限公司请求一项名为“用于外延成长设备的支撑结构、外延成长设备及外延晶圆”的专利，揭露号 CN 118910720 A，请求日期为 2024 年 7 月。
专利摘要显现，本揭露触及一种用于外延成长设备的支撑结构、外延成长设备及外延晶圆。用于外延成长设备的支撑结构包含多个第一支撑臂，多个第一支撑臂用于从外延成长设备的用于在其上支承晶圆的基座的下方支撑基座；以及多个第二支撑臂，多个第二支撑臂可以在竖向方向上移动并用于从晶圆的下方支撑晶圆，多个第二支撑臂设置在多个第一支撑臂的上方并与多个第一支撑臂在竖向方向上对应，而且第二支撑臂可以移动成在第二支撑臂的整个纵向长度上与对应的第一支撑臂触摸。经过本揭露的用于外延成长设备的支撑结构及外延成长设备，可以改进晶圆在全体上的受热均匀性，并可以提高外延晶圆的电阻率均一性。